1 俄歇納米探針系統(tǒng) （AES）

    俄歇納米探針系統(tǒng)（Auger electron spectroscopy，簡稱AES）是一種分析材料表面組織形態(tài)及化學(xué)結(jié)構(gòu)的儀器, 主要應(yīng)用于高端精密的電子、材料等研究領(lǐng)域。AES應(yīng)用于鑒定樣品表面的化學(xué)性質(zhì)及組成的分析，其特點(diǎn)在俄歇電子來極表面甚至單個(gè)原子層，僅帶出表面的化學(xué)信息，具有分析區(qū)域小、分析深度淺和不破壞樣品的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于材料分析以及催化、吸附、腐蝕、磨損等方面的研究。 

  2 主要的檢測項(xiàng)目：

     - 俄歇能譜多點(diǎn)分析

     - AES縱深分析

     - AES mapping分析

     - 監(jiān)測樣品表面清凈度

     - 化學(xué)態(tài)分析

     - 樣品表面成份與半定量分析、雜質(zhì)分析（0.1%濃度以上）