1 二次離子質(zhì)譜儀 (SIMS)
二次離子質(zhì)譜儀（Secondary Ion Mass Spectrometry，簡(jiǎn)寫(xiě)SIMS）具有高靈敏度的雜質(zhì)偵測(cè)力，幾乎對(duì)所有元素的偵測(cè)極限可達(dá)ppma(百萬(wàn)分之一原子密度)，對(duì)于部份元素的偵測(cè)極限甚至可達(dá)PPBA(十億分之一原子密度)，而被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體以及薄膜材料分析上。
2 主要的檢測(cè)項(xiàng)目
- 金屬擴(kuò)散檢測(cè)
- 表面污染分析
- 吸附檢測(cè)
- 腐蝕分析
- 摻雜縱深分析
- 淺面和超淺面分析
公眾號(hào)
地址（辦公室）：廣東省深圳市羅湖區(qū)南湖街道嘉北社區(qū)建設(shè)路2016、2018號(hào)南方證券大廈AB棟16層
電話(Tel.)： +86-769-22247299 郵箱(E_mail): Service@itstlab.com
地址（實(shí)驗(yàn)室）：廣東省東莞市東城街道溫塘石羊街278號(hào)1樓
電話(Tel.)： +86-769-22247299 郵箱(E_mail): Service@itstlab.com
地址（咨詢(xún)）: 廣東省廣州市黃埔區(qū)科學(xué)城科研路3號(hào)3棟407
電話(Tel.)： +86-20-29862950 郵箱(E_mail): Service@itstlab.com
