1 原子力顯微鏡 (AFM)
掃描探針顯微鏡,俗稱原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, 簡稱AFM),提供原子或接近原子分
辨率的表面圖形,是測定埃尺度表面粗糙樣本的理想技術(shù)。除顯示表面圖像, AFM還可以提供特征尺寸定
量測量,例如步進高度測量;其他樣本特性,如為確定載體和摻雜劑的分布和測量電容。
2 主要的檢測項目
- 三維表面結(jié)構(gòu)圖像檢測
- 測定形態(tài)/結(jié)構(gòu)檢測
- 測定表面粗糙度
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