1 透射電子顯微鏡 (TEM)

  透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope,簡稱TEM），通常采用熱陰極電子槍來獲得電子束作為照明源，熱陰極發(fā)射的電子，在陽極加速電壓的作用下，高速穿過陽極孔，然后被聚光鏡會聚成具有一定直徑的束斑照到樣品上，具有一定能量的電子束與樣品發(fā)生作用，產(chǎn)生反映樣品微區(qū)厚度、平均原子序數(shù)、晶體結(jié)構(gòu)或位向差別的多種信息，并可達(dá)到0.1奈米的影像分辨率。 

  2  主要的檢測項目

    - 結(jié)晶缺陷分析

    - 元素成分分析

    - 雜質(zhì)及污染物分析

    - 薄膜及厚度分析