1 掃描電子顯微鏡 (SEM)

 焦成一微小的電子束至樣品表面，并利用掃描線圈使其在樣品表面上掃描。由于SEM其w分辨率高及景深大，放大

 倍率可達(dá)到幾萬至幾十萬倍以上，故主要是用來觀察樣品表面及剖面微結(jié)構(gòu)，如在設(shè)備上加裝能量分散X光譜儀

 (Energy Dispersive Spectrometer, EDS)時(shí)，則可對樣品表面同時(shí)進(jìn)行微區(qū)之材料分析。

2 主要的檢測項(xiàng)目

  - 錫須觀察

  - 定性/半定量之元素分析

  - 多層結(jié)構(gòu)樣品膜厚測量

  - 表面及橫截面微細(xì)結(jié)構(gòu)觀察與分析

3 典型案例

  (1)IC引腳檢查圖 

     (2)放大到3000X后測量