1 二次離子質(zhì)譜儀 (SIMS)
二次離子質(zhì)譜儀（Secondary Ion Mass Spectrometry，簡寫SIMS）具有高靈敏度的雜質(zhì)偵測力，幾乎對所有元素的偵測極限可達(dá)ppma(百萬分之一原子密度)，對于部份元素的偵測極限甚至可達(dá)PPBA(十億分之一原子密度)，而被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體以及薄膜材料分析上。
2 主要的檢測項目
- 金屬擴(kuò)散檢測
- 表面污染分析
- 吸附檢測
- 腐蝕分析
- 摻雜縱深分析
- 淺面和超淺面分析
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