1  X光光電子能譜儀 (XPS)

  X光光電子能譜分析（X-ray photoelectron spectroscopy，簡稱XPS）是利用X射線照射在樣品上，使用樣品的中原子或者分子的電子受激發(fā)發(fā)射，然后測量這些電子的能量分布，從而確定樣品中原子或者離子的組成和狀態(tài)。XPS主要應(yīng)用是測定電子的結(jié)合能來鑒定樣品表面的化學性質(zhì)及組成的分析，其特點在光電子來自表面10nm以內(nèi)，僅帶出表面的化學信息，具有分析區(qū)域小、分析深度淺和不破壞樣品的特點，廣泛應(yīng)用于金屬、無機材料、催化劑、聚合物、涂層材料礦石等各種材料的研究。 

  2 主要的檢測項目

     - 表面異物分析

     - 元素定性和定量分析

     - 金屬表面氧化程度

     - 氧化層厚度分析